表面電阻測試儀

表面電阻測試儀測量半導體的電阻率
一,測試原理:
當四根金屬探針排成一bai條直線(xiàn),并以一定壓力壓在半導體材料上時(shí),在1,4兩根探針間通過(guò)電流I,則2,3探針間產(chǎn)生電位差V(如圖所示).
根據公式可計算出材料的電阻率:
其中,C為四探針的探針系數(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距.

表面電阻測試儀儀器操作:
(一)測試前的準備:
1,將電源插頭插入儀器背面的電源插座,電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置;

2,工作方式開(kāi)關(guān)置于"短路"位置,電流開(kāi)關(guān)處于彈出位置;

3,將手動(dòng)測試架的屏蔽線(xiàn)插頭與電氣箱的輸入插座連接好;

4,對測試樣品進(jìn)行一定的處理(如噴沙,清潔等);

5,調節室內溫度及濕度使之達到測試要求.
(二)測試:
首先將電源開(kāi)關(guān)置于開(kāi)啟位置,測量選擇開(kāi)關(guān)置于"短路",出現數字顯示,通電預熱半小時(shí).
1,放好樣品,壓下探頭,將測量選擇開(kāi)關(guān)置于"測量"位置,極性開(kāi)關(guān)置于開(kāi)關(guān)上方;

2,壓下探頭時(shí),壓力要適中,以免損壞探針;

3,由于樣品表面電阻可能分布不均,測量時(shí)應對一個(gè)樣品多測幾個(gè)點(diǎn),然后取平均值;

4,樣品的實(shí)際電阻率還與其厚度有關(guān),還需查附錄中的厚度修正系數,進(jìn)行修正.
1. 在測容性負載阻值時(shí)，絕緣電阻測試儀輸出短路電流大小與測量數據有什么關(guān)系，為什么?
絕緣電阻測試儀輸出短路電流的大小可反映出該兆歐表內部輸出高壓源內阻的大小。當被測試品存在電容量時(shí)，在測試過(guò)程的開(kāi)始階段，絕緣電阻測試儀內的高壓源要通過(guò)其內阻向該電容充電，并逐步將電壓充到絕緣電阻測試儀的輸出額定高壓值。顯然，如果試品的電容量值很大，或高壓源內阻很大，這一充電過(guò)程的耗時(shí)就會(huì )加長(cháng)。其長(cháng)度可由R內和C負載的乘積決定（單位為秒）。請注意，給電容充電的電流與被測試品絕緣電阻上流過(guò)的電流，在測試中是一起流入絕緣電阻測試儀內的。絕緣電阻測試儀測得的電流不僅有絕緣電阻上的分量，也加入了電容充電電流分量，這時(shí)測得的阻值將偏小。